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SEM主動隔振平臺
SEM-Base® VI是下一代STACIS主動壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強大的控制器和**圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實驗室和設(shè)施達到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動水平。
SEM-Base VI采用“串行結(jié)構(gòu)"，其中的振動傳感器測量地面振動，而不是有效載荷振動。與其他設(shè)計不同，這確保了有效載荷共振不會限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動傳感器是低頻慣性速度傳感器，在難以測量的亞Hz范圍內(nèi)具有**靈敏度。結(jié)合壓電致動器技術(shù)，SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實現(xiàn)高的消振水平。
SEM-Base VI可提供與以前型號平均高6 dB的隔振。此外，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器，為工具所有者和研究人員提供了一個非常簡單易用的圖形界面，可實現(xiàn)快速系統(tǒng)評估和安全操作。通過以太網(wǎng)連接時，DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI，無需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外，用戶也可以通過板載菜單驅(qū)動的液晶顯示器（LCD）與控制器連接。
注意：請參見SEM-Closure，這是一種專為保護SEM而設(shè)計的整體環(huán)境解決方案。它可以將SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一個密封和溫控聲學(xué)室中 - 從而保護SEM免受振動、磁場干擾和聲學(xué)噪聲的影響。
SEM-Base VI的優(yōu)勢
硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動控制系統(tǒng)兼容，可以從0.6 Hz開始主動減輕低頻地面振動。
主動慣性振動消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能實現(xiàn)高水平的振動衰減。
采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計 - 串行設(shè)計和專有的高力壓電技術(shù)可實現(xiàn)0.6 Hz***150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的**慣性主動振動消除性能。
集成式的單平臺設(shè)計 - SEM-Base VI設(shè)計與制造的集成化，將安裝平臺的工作簡化到了**，簡單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。
NOTE：可選SEM-Closure，專門設(shè)計用于保護SEM的完整環(huán)境解決方案。在SEM- Closure密封隔音室內(nèi)可兼顧放置 SEM-Base VI與Mag-Net X，保護SEM免除振動、磁場擾動與聲波噪音的影響。
SEM主動隔振平臺 產(chǎn)品特點
? STACIS**技術(shù)
? 主動慣性振動清除系統(tǒng)
? 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數(shù)商業(yè)SEM
? 負(fù)載能力：408-1134kg (900-2500 lb.)
? 隔振效率1Hz:40-70%
? 隔振效率經(jīng)2Hi:90%
? 隔振效率＞3Hz:90-98%
? 6個主動自由度
? 安裝容易，調(diào)試簡單
? 兼容所有設(shè)備內(nèi)直的振動隔離系統(tǒng)
? 電源：100-240VAC, 50/60Hz, <600W
? 是否需要空氣：非氣浮系統(tǒng)
? CE與RoHS認(rèn)證
? 集成式的單平臺設(shè)計
? 可安裝腳輪，輕松便攜移動，無需搬運
? 兼容SEM-lift系統(tǒng)
規(guī)格
性能規(guī)格
主動自由度 | 6 |
主動帶寬 | 0.6 Hz - 100 Hz |
被動固有頻率 | 標(biāo)稱值為12 Hz |
有效的主動共振頻率 | 0.5 Hz |
1 Hz時的隔振 | 40% - 70% |
2 Hz時的隔振 | 90% |
≥3 Hz時的隔振 | 90 - 98% |
內(nèi)部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
工作負(fù)載范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克） |
磁場發(fā)射4英寸（102毫米）處距離平臺 | <0.02 μG broadband RMSd> |
設(shè)計、尺寸、環(huán)境和效用要求
環(huán)境和安全 | 符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
主動隔振元件 | **小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號，其輸出高達800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷 |
被動隔振元件 | 單個硬彈性體（無需壓縮空氣源） |
振動傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于 |
主動反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧 |
尺寸（寬 x 深） | 35.25 x 44.25英寸 |
高度 | 標(biāo)稱6.3英寸（160毫米）， |
工作溫度 | 50° - 90° F |
儲存溫度 | -40° - 130° F |
濕度 | 30 - 60% |
系統(tǒng)電源要求 | 100、120、230、240 VAC |
地面位移 | <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd> |
內(nèi)置控制器規(guī)格
處理器 | 150/75 MHz雙核 |
采樣率 | 10 kHz |
模擬輸出 | 16個通道 |
模擬輸入 | 16個通道 |
狀態(tài)燈 | 單個LED |
前面板端口 | 1個串行USB 2.0 |
用戶界面 | 前面板液晶顯示屏 |
性能
使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動來測試1800磅（818千克）有效載荷
